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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH

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Wir entwickeln Ihren hochwertigen Mikrosensor auf Siliziumbasis - von der F&E-Leistung über Prototyping bis zur Kleinserienfertigung Ihrer kundenspezifischen Mikrokomponente, speziell in den Bereichen MEMS und MOEMS.

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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 14/10/2026
Im Forschungsprojekt ALUMINIS soll eine Flip-Chip-Technologie die Montage von Detektorchips auf ASICs mittels Aluminiums als Kontaktmaterial ermöglichen, ohne Schwermetalle einzusetzen, die Performance und Zuverlässigkeit moderner Strahlungsdetektoren limitieren würden. www.cismst.de/news-2026-10-14
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 09/10/2026
Mit „ #MEMS-Sensoren im Wandel: Neue Ansätze für Präzision und Integration“ und „NDIR-Sensorik: von der Komponente bis zum System“ sorgten die CiS #Workshops für wertvolle Impulse und spannende Diskussionen. Vielen Dank an alle Referent*innen sowie teilnehmenden Gäste. www.cismst.de/news-2026-10-09
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 06/10/2026
Heute in einem Monat öffnen verschiedenste Institutionen in Erfurt wieder ihre Türen für die Lange Nacht der #Wissenschaften. Das Institut startet mit einem umfangreichen Programm, welches große und kleine Gäste zum Entdecken, Staunen und Mitmachen einlädt. Programm: www.cismst.de/news-2026-10-06
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 05/10/2026
1. Thüringer Luft- und Raumfahrttag in Jena Die gemeinsame Veranstaltung des Thüringer Wirtschaftsministeriums, der LEG Thüringen und des LRT brachte Akteure aus Wirtschaft, Wissenschaft und Politik zusammen. Als Aussteller präsentierte sich auch das Forschungsinstitut www.cismst.de/news-2026-10-05
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 01/10/2026
Stadtradeln 2026: Mehr als 3000 Kilometer in 21 Tagen Im Aktionszeitraum legte das Institutsteam beeindruckende 3006 Kilometer auf zwei Rädern zurück. So konnten die 19 Stadtradelnden mehr als 490 Kilogramm CO₂ einsparen. Herzlichen Dank für diese Leistung. www.cismst.de/news-2026-10-01
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 24/09/2026
Vom 20.-22. September 2026 diskutierten etwa 70 internationale Forschende über kryogene Bauelemente. Das Fachforum „KRYO 2026“ bündelt die nationalen Kompetenzen in der Quantentechnologie. Das CiS Forschungsinstitut war mit zwei Beiträgen vertreten. Infos & Galerie: www.cismst.de/news-2026-09...
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 22/09/2026
Auf der ESREF dreht sich alles um Zuverlässigkeit sowie Fehleranalytik von Bauelementen in Mikro- Nano- und Optoelektronik. Am 24.9.26 stellen wir Ergebnisse des Projekts DotIR vor. Dotierungen in MoSi2 sollen Elektromigrationseffekte verringern und Lebensdauer erhöhen www.cismst.de/news-2026-09-22/
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 18/09/2026
Mitte September trafen sich auf der #Sensor China in Shanghai internationale Fachleute für Dialog und Kooperationen zwischen europäischen und chinesischen Akteuren der #Sensorik -Branche. Das Institut war mit einem Konferenzbeitrag sowie einem Messestand vertreten. www.cismst.de/news-2026-09-18/
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 18/09/2026
Mit der #electronica India in Bengaluru öffnet die führende Fachmesse Südasiens für elektronische Komponenten, Systeme und Anwendungen ihre Tore. Das Institut feiert in Halle 5 des BIEC auf dem International Pavillon der Messe München seine Messepremiere in Indien. www.cismst.de/news-2026-09-16/
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 09/09/2026
Zurzeit veranstaltet das Institut für Physik der TU Ilmenau seinen 24. Ilmenauer Physiksommer für physikbegeisterte Oberstufenschüler*innen. Kai Kühnlenz vom CiS Forschungsinstitut sprach in seinem Vortrag über das Thema supraleitfähige Elektronik. www.cismst.de/news-2026-09-09
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 07/09/2026
Am 1. 10. trifft sich die #NDIR Community, um Trends in IR Komponenten und -Systemen zu diskutieren. Die 5 Auflage des #MOEMS #Workshops NDIR-Sensorik: von der Komponente bis zum System öffnet mit einer Keynote von Prof. Gerlach, TU Dresden Programm und Anmeldung: www.cismst.de/workshops/mems-2026
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 03/09/2026
Der CiS MEMS #Workshop steht am 29. September 2026 unter dem Motto „MEMS-Sensoren im Wandel: Neue Ansätze für Präzision und Integration“ und beleuchtet die komplette Wertschöpfungskette der modernen #MEMS -basierten Silizium-Sensorik. Programm und Anmeldung: www.cismst.de/workshops/me...
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 27/08/2026
Mit Teamgeist, guter Laune und sportlichen Ehrgeiz stellten sich Staffel-Teams aus dem Institut unter dem Motto „Mikrosensoren, Makro-Performance“ dem Wettkampf. Beim Erfurt Triathlon traf sich bei Spätsommerwetter die Triathlon Community zum alljährlichen Kräftemessen www.cismst.de/news-2026-08-27
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 25/08/2026
Die Investitionen ermöglichen eine zukunftsfähige Technologieplattform und adressieren einen digitalisierten sowie KI-gestützten Prozess in der Sensorikentwicklung am CiS Forschungsinstitut. Dieses Projekt wurde kofinanziert von der Europäischen Union. www.cismst.de/foerderung/efre/path2six/
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 19/08/2026
Im Forschungsprojekt #miniOffset wurde die #Sensor-Performance, vor allem der #Null-Offset und seine #Temperaturabhängigkeit bereits auf Wafer-Level bzw. Chip-Level minimiert. Dazu können kostengünstige CMOS/MEMS-kompatible Materialen und Prozesse angewandt werden. www.cismst.de/news-2026-08-19/
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 14/08/2026
Um hochempfindliche Sensorelemente stabil zu fertigen, haben sich die Anforderungen an die nasschemische Oberflächenbearbeitung erhöht. Mit der Investition werden diese Forderungen erfüllt. Dieses Projekt wurde kofinanziert von der Europäischen Union. www.cismst.de/foerderung/efre/hipr6-sens/
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 12/08/2026
Im Projekt InOxA wurde der TOPCon-Kontakt auf Sensordioden übertragen. Auf das Grundmaterial wurde ein dünnes Barriere-Oxid und hochdotiertes Polysilizium aufgebracht, sodass der Kontakt gleichzeitig der Passivierung der aktiven Fläche und des Substratkontakts dient. www.cismst.de/news-2026-08-12/
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 05/08/2026
Piezo-junction #Sensoren messen gleichzeitig Prozessparameter wie #Druck, Temperatur, #Vibration – ideal für Anwendung in Prozessmesstechnik, Öl und Gas, Luft und Raumfahrt. Im Projekt PJS wurden verschiedene Einflussfaktoren für einen optimalen pn-Übergang untersucht. www.cismst.de/news-2026-08-05/
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 29/07/2026
Das neue Forschungsprojekt CryoMAG-RX fokussiert auf einen einfach zu prozessierenden #Temperatursensor auf Waferebene, wobei die Lage eines variabel einstellbaren Temperaturreferenzpunktes & die Kennlinienform durch ein konstant wirkendes Magnetfeld beeinflusst wird: www.cismst.de/news-2026-07-29/
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 22/07/2026
Im neuen #Forschungsprojekt oLGAD untersuchen wir #Schichtsysteme zur Verbesserung der Perfomance von #Detektoren, welche den #Dunkelstrom verringern und die Empfindlichkeit für die Detektion niederenergetischer Elektronen erhöhen. Weitere Infos: www.cismst.de/news-2026-07-22/
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 15/07/2026
Im #Forschungsprojekt HIVOS wurde das Zusammenspiel verschiedener, vorstrukturierter Adhäsivschichten in Kombination mit hochpräzisen #Fügetechnologien und automatisierter Montageprozesse für die #Hybridmontage komplexer optoelektronischer #Mikrosysteme untersucht: www.cismst.de/news-2027-07-15
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 08/07/2026
Im Verbundvorhaben #OSCAR wird ein #Hochdruck-Sensorsystem zur Inline-Überwachung technischer #Fluide für Prozessbedingungen entwickelt. Ziel ist die Integration einer #Küvette mit modularen optomechanischen Komponenten und integrierter Firmware in eine Einschraublösung www.cismst.de/news-2026-07-08
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 02/07/2026
Im Projekt #KoSenDi wurden Detektoren entwickelt, die Performanceverbesserungen und Kostenvorteile erreichen. Eine teiltransparente #Fotodiode bestimmt die Anregungslichtstärke direkt im Strahlengang, eine Dünnschichtfiltertechnologie wurde in die Fotodiode integriert www.cismst.de/news-2026-07-02
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 23/06/2026
Zum Entdecken, Mitmachen und Staunen luden wir am 20.6. mit interaktiven Experimenten zur Ilmenauer Wissenschaftsnacht ein. Besucher*innen tauchten in eine faszinierende Welt Forschung und Technik. Wir präsentierten ein Spektrum unserer siliziumbasierten #Mikrosensorik. www.cismst.de/news-2026-06-23
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 17/06/2026
Im ZIM-Kooperationsprojekt #ApproxiSens wurde ein Messsystem für Härteprüfmaschinen entwickelt, welches industrielle #Härtemessung auf ein neues Qualitätsniveau hebt. Das Messsystem erhöht die Durchsatzrate in Serienmessungen mittels präziser Steuerung des Indenters. www.cismst.de/news-2026-06-17/
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 12/06/2026
18 Laufbegeisterte beim 17. RUN-Unternehmenslauf Erstmals lief ein Team des CiS Forschungsinstituts die 5 km lange Strecke durch die wunderschöne, historische Altstadt von Erfurt und trug dabei blaue Shirts mit dem Slogan Mikro-Sensoren, Makro-Performance! www.cismst.de/news-2026-06-12/
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 09/06/2026
Das neue Forschungsprojekt ReSpektIS beschäftigt sich mit der Entwicklung einer neuartigen, kompakten optischen Komponente für ein Messsystem zur hochgenauen relativen Messung des Brechungsindex gasförmiger Medien www.cismst.de/news-2026-06-09/
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 03/06/2026
Vom 9.-11.6. sind wir beim internationalen Treffpunkt für Sensorik, Mess- und Prüftechnik dabei. Auf der SENSOR+TEST 2026 können interessierte Besucher in Halle 1 Stand 501 unsere Experten treffen und Forschungsergebnisse der siliziumbasierten Mikrosensorik diskutieren www.cismst.de/news-2023-06...
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 28/05/2026
Zur Detektion von Gasleckagen im Spurenbereich entwickeln wir einen hochempfindlichen Sensor auf Basis einer Pd/Si-Schottky-Diode mit integrierter Heizstruktur. Für die fehlerfreie Fertigung kommt das im Investprojekt TechWB bewilligte Waferinspektionssystem zum Einsatz www.cismst.de/news-2026-05-28
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 20/05/2026
Das Verbundprojekt #CoGeQ hatte das Ziel, einen mobilen spinbasierten #Quantenprozessor auf Basis von NV-Zentren in #Diamant zu demonstrieren. Wir verantworteten die AVT und entwickelten eine effiziente Montage der Schichtstapel aus Diamantchip und Siliziuminterposer. www.cismst.de/news-2026-05-20/
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 12/05/2026
Als Grundbaustein für siliziumbasierte Quantentechnologie werden aktuell Farbzentren wie das G- oder T-Zentrum in Silizium verwendet. Im Forschungsprojekt aQuSiS sollen erstmals indiumbasierte Akzeptor-Fehlstellen als leicht zugängliche Quantensysteme realisiert werden www.cismst.de/news-2026-05-12/
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 06/05/2026
Projektabschluss NH3-BZ: Photoakustischer #Sensor für die #Wasserstoff- Erzeugung Messzellen für die Bestimmung des Restammoniakgehalts in trockenen N2/H2-Gasgemischen erlauben Überwachung in #Echtzeit. Kundenspezifische Sensorelemente können schnell integriert werden. www.cismst.de/news-2026-05-06
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 29/04/2026
CiS Forschungsinstitut erneut Aussteller auf der Messe Quantum #Photonics Am 5. und 6. Mai präsentieren wir in Halle 2-615 der Messe Erfurt unser Portfolio bei #Quantentechnologien. Dr. Mario Bähr spricht außerdem über „Enabling Technologies for #Quantum Applications“ www.cismst.de/news-2026-04-29
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 20/04/2026
Technologien für die Zukunft: CiS Forschungsinstitut auf der Hannover Messe 2026 Unsere Experten zeigen neue Projektergebnisse und Anwendungen siliziumbasierter MEMS- und MOEMS-Sensorkonzepte in Halle 13 / E24 auf dem Thüringer Gemeinschaftsstand der LEG in Hannover. www.cismst.de/news-2026-04-20
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 08/04/2026
Am 15.4. 26 startet das 5. Symposium Elektronik und Systemintegration an der Hochschule Landshut. In einen der Vorträge stellen wir das Thema #MEMS-IR-Emitter: Vom digitalen Zwilling über neuartige Verbindungstechniken bis hin zu standardisierten Messprotokollen“ vor. www.cismst.de/news-2026-04-08
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 02/04/2026
Die Osterfeiertage mit Familie und Freunden stehen vor der Tür und die Geschäftsführung des Instituts lud zu einer kreativen Mitmach-Aktion. Die kreativen Einreichungen der jungen Künstler und Künstlerinnen können in unserer Online-Galerie bestaunt werden. Zur Galerie: www.cismst.de/news-2026-04...
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 31/03/2026
Das Forschungsprojekt Machine Learning Elektromigrationsparameter soll Grundlagen für neue Softwaretools zur Bestimmung und Optimierung von Materialen in Bezug auf #Elektromigration schaffen. Elektromigration limitiert Lebensdauer und Langzeitstabilität von Halbleitern. www.cismst.de/news-2026-03-31
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 27/03/2026
Über neue Möglichkeiten, die sich durch Technologien zur dreidimensionalen Strukturierung von #Silizium ergeben, berichtet Dr. Martin Schädel, Geschäftsfeldleiter #MOEMS am CiS Forschungsinstitut, am Montag, dem 30. März 2026 um 15:00 Uhr in einem Webinar. Mehr Infos: www.cismst.de/news-2026-03...
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 18/03/2026
Das Projekt EiS beschäftigt sich mit der Entwicklung innovativer Schichtstapel MEMS-IR-Emitter. Angestrebt wird ein noch weiter miniaturisierter kostengünstigerer Chip, der mindestens dieselbe Lichtausbeute bisheriger Chips aufweist und neue Anwendungsgebiete erschließt www.cismst.de/news-2026-03-18
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 11/03/2026
Si-DMS bieten hervorragende Eigenschaften. Um die Beeinflussung durch #Temperatur zu verringern wurden auf dem Chip Temperaturmesswiderstände, Temperaturdioden und bipolare Transistoren integriert. On-chip pnp-Transistoren ermöglichen temperaturkompensierte Varianten. www.cismst.de/news-2026-03-11
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 05/03/2026
Aktuell veranstaltet die DPG ihre Frühjahrtagungen. Wir stellen Ergebnisse aus den Gebieten defektbasierter Lichtemitter in dotiertem Silizium, Vergleiche von NV-Diamantmaterialien, Qubits in der siliziumbasierten Quantentechnologie und Elektromigrationsexperimente vor www.cismst.de/news-2026-03-02
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 02/03/2026
Durchblick bei Elektromobilität - populär statt wissenschaftlich! Am 6.5.26 findet die 2. Auflage des Bürgerdialogs statt. Prof. Ortlepp, Geschäftsführer am Institut, vermittelt Teilnehmenden leicht und verständlich Wissenswertes zu Elektromobilität Infos und Anmeldung: www.cismst.de/elektromobil...
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 25/02/2026
Typische #Wärmestromsensoren arbeiten nach dem Seebeck-Effekt. Die Entwicklung des Instituts, basierend auf in Reihe geschaltete #Temperaturdioden, erhöht signifikant den #Signalhub. Die Herstellung ist preisgünstiger und es können absolute Temperaturen gemessen werden www.cismst.de/news-2026-02-25
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 19/02/2026
Am Montag startet in Nürnberg die ENFORCE TAC, Deutschlands Leitmesse für Sicherheit und Verteidigung. Wir sind erstmalig vertreten und zeigen in Halle 6, Stand 6-215, Entwicklungsergebnisse wie ein mobiles Vitalsensorsystem oder Fotodiodenmodule für Laser-Warnsysteme. www.cismst.de/news-2026-02-19
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 16/02/2026
🎉 Närrisches Gebäck zum Rosenmontag 🎉 Die Geschäftsleitung des CiS Forschungsinstituts lud zum heutigen #Rosenmontag alle Mitarbeitenden zu frischen #Pfannkuchen ein. Die Kolleginnen und Kollegen ließen sich die leckere Süßigkeit gut schmecken.
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 12/02/2026
Vom 17. -19. 2.26 findet der 21. Trento Workshop on Advanced Silicon Radiation Detectors in Perugia statt. Wir sind dort mit einem Beitrag zur Verbesserung von Low Gain Avalanche Detektoren (#LGAD) hinsichtlich der Empfindlichkeit für niederenergetische Elektronen dabei www.cismst.de/news-2026-02-12
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 06/02/2026
Vitalsensor für Einsatzkräfte zur Erkennung von Gefahrensituationen Die Entwicklung ist Bestandteil des Verbundförderprojekts MoViSEG und soll einen optisch-digitalen Im-Ohr-Sensor mit einer leichten und am Helm befestigten Ansteuerungs- und Übertragungseinheit vereinen www.cismst.de/news-2026-02-06
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 04/02/2026
Der entwickelte piezoresistive #Filmkraftsensor ermöglicht die hochsensitive und robuste Messung von Schichtspannungen im Bereich von 1 N/m bis in den µN/m-Bereich. Er schließt die Lücke zwischen grob auflösenden Standardverfahren und komplexen optischen Laboraufbauten. www.cismst.de/news-2026-02-04
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 30/01/2026
Von #Materialforschung bis Softwareentwicklung: am CiS Experimentiertag praxisnah #MINT Berufe entdecken Am 29.1.26 besuchten Schüler*innen der Kooperativen Gesamtschule das CiS Forschungsinstitut, um die Welt naturwissenschaftlicher und technischer Berufe zu erkunden. /www.cismst.de/news-2026-01-30
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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH @cis-forschung.bsky.social · 28/01/2026
Im Projekt NivLer entwickelten wir eine nichtinvasive Nachrüstlösung zur #Druckberwachung von Rohrsystemen in der Industrie. Der #Sensor unterstützt die #Wartungsoptimierung in Bereichen mit hoher hygienischer Anforderung wie Pharma- und Lebensmittelproduktion. www.cismst.de/news-2026-01-28/
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